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扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。气体捕集泵这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵

高真空系滑阀式真空泵（Rotary Piston Vacuum Pump）广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。

在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

内走漏的影响:　　在整个钢液处置过程中, 体系的真空度是跟着钢液的放气量的削减而不断升高的。在钢液处置前期, 体系真空度低, 放气量大, 需求前级泵的抽气才能大, 通常选用多个泵并联的方式增大体系的抽气量。而当体系真空度不断升高时, 体系的放气量也随之削减, 为了下降蒸汽耗量, 节省能源, 需封闭前级并联泵中的若干只。泵布局图中的3A、3B、4A、4B 被称作前级泵, 或叫预抽泵,B1、B2叫增压泵。当全泵投入时, B1、B2 开, 3B、4B 泵封闭。在布局图中可见体系是经过两个逆止阀与3B、4B 泵进行衔接的, 若是这两个逆止阀开关不到位,或许有走漏, 都会给体系的才能形成影响尤其是阀的走漏会形成体系短路, 使上一级泵因背压过高而无法正常作业, 呈现二重真空表象。其次, 真空泵的喷嘴是由两部分组成的, 这两部分是靠法兰衔接的,关于联接法兰在泵体内的真空泵, 若联接处因为密封等缘由形成蒸汽的走漏, 也会给泵的功能形成影响。