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发布时间:2021-12-22 09:39:10
真空系统常用名称①主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。②前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。③粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到佳配置,选择真空系统时,应考虑下述各点:首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定之。
真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入,增加和效率下降阀片,经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上,上部摆开一个角度,被扭曲成“S”形,经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题,阀片中间应力过于集中,加快了其他部件的疲劳和***程度,减少了设备使用寿命,导致阀片从中间部分出现断裂情况,影响正常使用。
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