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发布时间:2021-12-12 03:50:09
分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
壳体裂纹高分子复合材料修复壳体裂纹真空泵因铸造、加工缺陷,内应力及超负荷运行等原因经常导致部件出现裂纹或断裂现象。常规的修复方法是采用焊接,但有的零件材质是铸铁、铝合金、钛合金,难以做焊接处理。还有一些易于发生的***场合,更不易采用焊接修复方法。美嘉华技术是一种“冷焊”技术,可以避免热应力变形,同时材料良好的附着力和抗压、抗腐蚀等综合性能,可以地满足各种设备部件的使用要求,从而在低成本的投入下有效保证生产。安全、方便、可靠。
真空泵冒烟和喷油1.冒烟,如果是泵刚刚开始运转有冒烟的现象,属于正常,如果长时间在冒烟就是不正常了。解决之道:冒烟说明泵的进气口外,包括管道、阀门、容器有修理的情况。检漏以后处理了,冒烟会结束。涡街流量计2.喷油,说明进气口外有大量的漏点,甚至是进气露大气。解决之道:封住泵的进气口使泵运转,如果不喷油的话,说明有漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片是否损坏,更换坏的排气阀。
真空泵组阀片的作用:阀片其实对于真空泵机组的运行起到了很大的作用,如果阀片受损就会严重影响机组的正常运转情况,所以这就需要对阀片做好定期检查,从而确保阀片能够长久保持良好的使用状态。真空泵组在运行过程中会出现机械故障,为了预防这些可能出现的故障,首先保证设备的密封效果,一般会在真空泵两端的柔性排气孔上安装一组阀片,阀片的作用是为了尽可能的缓解由于真空泵工作出现的气压不稳影响到内部压缩作业效果的情况。
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